發(fā)布時(shí)間:2021/9/17 13:51:58
上海被賦予打造集成電路產(chǎn)業(yè)高地的重大任務(wù)，隨著產(chǎn)業(yè)規(guī)模逐步擴(kuò)大，廢酸環(huán)境無害化處置成為突出問題。據(jù)了解，上海通過 “點(diǎn)對點(diǎn)”資源化定向再利用創(chuàng)新模式已破解這一難題。
日前，一輛掛有危險(xiǎn)標(biāo)識的罐裝運(yùn)輸車穩(wěn)穩(wěn)駛?cè)霃S區(qū)，公司專職管理員引導(dǎo)車輛，過磅、取樣、檢驗(yàn)、聯(lián)單簽收……一系列流程后，車被引導(dǎo)至專用卸車區(qū)，車上的特殊液體被接收到公司的原料儲料罐中，等待用于后續(xù)的生產(chǎn)。 這是記者在位于金山第二工業(yè)區(qū)內(nèi)的上海澎博鈦白粉有限公司（以下簡稱澎博公司）看到的場景。罐裝車內(nèi)裝運(yùn)的是液體硫酸，它的特殊性在于是上游集成電路芯片生產(chǎn)企業(yè)使用過的廢棄硫酸。
在現(xiàn)場，公司負(fù)責(zé)人何文龍告訴記者，公司是上海市集成電路芯片行業(yè)產(chǎn)生的廢硫酸資源化利用定點(diǎn)單位，每天安排專用車輛將廢酸運(yùn)回工廠，經(jīng)過嚴(yán)格的檢驗(yàn)流程后再投入到鈦白粉生產(chǎn)當(dāng)中，今年1月-7月已處置利用廢酸1.5萬噸。
新模式解決行業(yè)發(fā)展難題
據(jù)上海市生態(tài)環(huán)境局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，上海首創(chuàng)的廢硫酸“點(diǎn)對點(diǎn)”資源化定向再利用模式運(yùn)用逐步成熟，目前已經(jīng)全部覆蓋了上海具備回收廢酸條件的集成電路芯片制造企業(yè)，總體上穩(wěn)定地解決了上海集成電路芯片制造企業(yè)廢硫酸處置問題。
據(jù)上海市集成電路行業(yè)協(xié)會相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，集成電路產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)過程中會使用大量濃硫酸，排放以硫酸物質(zhì)為主，處理廢硫酸成本很高，同時(shí)會存在一定的生態(tài)環(huán)境安全風(fēng)險(xiǎn)。這個(gè)問題成為阻礙行業(yè)發(fā)展的難題。
直面痛點(diǎn)。在上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委、上海市生態(tài)環(huán)境局等相關(guān)部門的支持下，上海市固體廢物和化學(xué)品管理技術(shù)中心、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會積極探索，多次召開專家研討會論證處置方案，并于2016年開始由中芯國際和澎博公司開展廢硫酸“點(diǎn)對點(diǎn)”資源化定向再利用試點(diǎn)運(yùn)行，經(jīng)過多輪試點(diǎn)驗(yàn)證，最終形成較為成熟的經(jīng)驗(yàn)。
去年，上海市集成電路行業(yè)協(xié)會會同多部門專門編寫形成了《鈦白粉用集成電路制造行業(yè)廢硫酸》（T/SICA001-2020）團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，在上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督部門網(wǎng)站和國家標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)上進(jìn)行公示，全力保障廢酸源頭質(zhì)量的把控。 多維度再利用效益明顯
廢硫酸“點(diǎn)對點(diǎn)”資源化定向再利用，這一新模式的環(huán)境效益、經(jīng)濟(jì)效益和社會效益都很顯著。相關(guān)專家告訴記者，模式的核心是實(shí)現(xiàn)集成電路制造過程中產(chǎn)生的廢硫酸替代鈦白粉生產(chǎn)工藝過程中用到的工業(yè)硫酸。經(jīng)過試點(diǎn)驗(yàn)證，這種模式技術(shù)可行性很強(qiáng)，廢酸再利用單位在使用廢硫酸生產(chǎn)鈦白粉時(shí)，不需要調(diào)整現(xiàn)有工藝。同時(shí)，替用過程不增加額外的環(huán)境負(fù)擔(dān)與風(fēng)險(xiǎn)，不影響產(chǎn)品的質(zhì)量，符合“固體廢物減量化、資源化和無害化”原則。
談到經(jīng)濟(jì)效益，這位專家給記者算了一筆賬：澎博公司再利用廢硫酸每噸收費(fèi)500元，按照上海市往年廢硫酸處置費(fèi)每噸2000元計(jì)算，今年1月至7月，澎博公司累計(jì)利用廢硫酸1.5萬噸，集成電路生產(chǎn)企業(yè)可節(jié)約2250萬元。同時(shí)，澎博公司也節(jié)省了購置工業(yè)濃硫酸的費(fèi)用，產(chǎn)廢企業(yè)和再利用企業(yè)達(dá)到了“雙贏”。
此外，新模式還符合循環(huán)經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)需求，不僅解決了廢硫酸處置出路難、處置費(fèi)用高的難題，降低了企業(yè)生產(chǎn)成本和廢硫酸處理費(fèi)用，還促進(jìn)了鈦白粉生產(chǎn)單位的升級改造、精準(zhǔn)轉(zhuǎn)型和綠色發(fā)展，為日后集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展鋪平了道路。
深入推進(jìn)“點(diǎn)對點(diǎn)”資源化再利用“在探索推行這一新模式的過程中，我們以守好環(huán)境底線為前提，做到嚴(yán)格把關(guān)，按程序推進(jìn)。”上海市生態(tài)環(huán)境局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，在前期提出設(shè)想并加以論證的基礎(chǔ)上，他們于2016年發(fā)文，同意將中芯國際和澎博公司設(shè)立為上海市首個(gè)廢硫酸定向再利用試點(diǎn)單位，利用芯片廢硫酸生產(chǎn)鈦白粉。
2019年11月，上海市生態(tài)環(huán)境局同意4家企業(yè)廢硫酸定向資源化再利用備案。2020年10月，上海市生態(tài)環(huán)境局?jǐn)U大廢硫酸定向資源化再利用備案，新增4家企業(yè)，全面覆蓋上海市具備回收廢酸條件的集成電路制造企業(yè)。 據(jù)介紹，目前，各方進(jìn)展順利，各試點(diǎn)企業(yè)在嚴(yán)格執(zhí)行危險(xiǎn)廢物各項(xiàng)管理制度下，廢硫酸源頭品質(zhì)得到保障，并委托具有相關(guān)運(yùn)輸資質(zhì)的單位專人專車進(jìn)行運(yùn)輸。澎博公司在廢酸使用期間，生產(chǎn)運(yùn)行穩(wěn)定，各項(xiàng)污染物排放環(huán)保指標(biāo)檢測均符合排放標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí)，澎博公司對生產(chǎn)設(shè)備工藝進(jìn)行優(yōu)化改造，在末端形成了可滿足近期集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求的每年6萬噸廢硫酸利用能力。 “十四五”期間，上海的集成電路產(chǎn)量將快速增長，需處置的廢硫酸量也將隨之增加。據(jù)最新統(tǒng)計(jì)，2020年產(chǎn)生廢酸1.25萬噸，2021年預(yù)計(jì)為2.8萬噸，到2022年上海芯片企業(yè)產(chǎn)生的廢硫酸將高達(dá)6萬噸，2025年將達(dá)到10萬噸以上。
面對這一形勢，上海各相關(guān)部門召開會議制定了“提前謀劃改造，形成需求匹配、長久穩(wěn)定”的廢硫酸利用原則。上海市發(fā)改委、上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委還專門組織專家隊(duì)伍到資源化綜合利用企業(yè)澎博公司開展現(xiàn)場調(diào)研，了解情況，聽取企業(yè)和行業(yè)專家的意見和建議。
作為廢酸再利用定點(diǎn)企業(yè)，澎博公司也啟動(dòng)了匹配廢酸資源化利用技改規(guī)劃，積極響應(yīng)上級部門對澎博公司以廢定產(chǎn)、提前謀劃的要求，規(guī)劃“集成電路行業(yè)10萬噸廢酸資源化利用”技改。
在上海市人民政府近日印發(fā)的《上海市2021-2023年生態(tài)環(huán)境保護(hù)和建設(shè)三年行動(dòng)》文件上，記者也注意到相關(guān)條文：在環(huán)境可控的前提下，持續(xù)推動(dòng)集成電路行業(yè)廢酸等危險(xiǎn)廢物“點(diǎn)對點(diǎn)”定向資源化利用工作，形成穩(wěn)定的與集成電路行業(yè)未來發(fā)展相適應(yīng)的廢酸處置利用能力。
據(jù)悉，未來，這種廢棄硫酸“點(diǎn)對點(diǎn)”資源化定向再利用模式，將有力保障我國集成電路行業(yè)的發(fā)展，也將對其他行業(yè)的危險(xiǎn)廢物綜合利用起到借鑒和引領(lǐng)作用。
